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一种多轴PZT墨MEMS陀螺仪及其前端电路.pdf

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一种 PZT MEMS 陀螺仪 及其 前端 电路
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摘要
申请专利号:

CN201510865214.X

申请日:

2015.12.01

公开号:

CN106813656A

公开日:

2017.06.09

当前法律状态:

公开

有效性:

审中

法律详情: 公开
IPC分类号: G01C19/5776(2012.01)I 主分类号: G01C19/5776
申请人: 史树元
发明人: 史树元
地址: 110179 辽宁省沈阳市浑南新区浑南三路28号沈阳龙成硅谷网络有限公司
优先权:
专利代理机构: 代理人:
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法律状态
申请(专利)号:

CN201510865214.X

授权公告号:

法律状态公告日:

2017.06.09

法律状态类型:

公开

摘要

一种多轴PZT墨MEMS陀螺仪及其前端电路,其结构简单,仅用一个传感器就可以产生三个轴的角速度信号,体积小巧。另外,该类型的陀螺仪谐振频率通常也比较高,不存在音频干扰的问题,方便客户使用。基于这些特点,PZT型MEMS陀螺仪应用前景广阔,是未来MEMS陀螺仪发展的一个重要方向。

关于本文
本文标题:一种多轴PZT墨MEMS陀螺仪及其前端电路.pdf
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