配向膜涂布检测装置.pdf

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1、(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 (45)授权公告日 (21)申请号 201920258169.5 (22)申请日 2019.03.01 (73)专利权人 昆山龙腾光电有限公司 地址 215301 江苏省苏州市昆山市开发区 龙腾路1号 (72)发明人 陈化平 (51)Int.Cl. G01N 25/00(2006.01) G01N 21/88(2006.01) G02F 1/13(2006.01) (54)实用新型名称 一种配向膜涂布检测装置 (57)摘要 本实用新型实施例公开了一种配向膜涂布 检测装置， 包括涂布机台、 预烘烤机台和光学检 查机，。

2、 该预烘烤机台包括给已涂布配向膜的待检 测基板加热的加热板， 还包括对待检测基板检测 缺陷的基板检测装置； 该基板检测装置包括设置 在待检测基板上方的成像单元、 与成像单元和加 热板连接的控制单元； 该成像单元收集待检测基 板在加热中的膜面图像并反馈给该控制单元， 该 控制单元控制该加热板的温度并根据该膜面图 像确定待检测基板中缺陷的位置。 本实用新型实 施例公开的配向膜涂布检测装置能够对待检测 基板在预烘烤的过程中同时对配向膜进行缺陷 检测， 既能提高异常检测率， 又能降低不良漏检 率， 大大提升了产品的生产良率。 权利要求书1页 说明书5页 附图2页 CN 209992419 U 2020。

3、.01.24 CN 209992419 U 1.一种配向膜涂布检测装置， 包括涂布机台(10)、 预烘烤机台(20)和光学检查机(30)， 所述预烘烤机台(20)包括给已涂布配向膜的待检测基板(100)加热的加热板(220)， 其特征 在于， 所述预烘烤机台(20)还包括对待检测基板(100)检测缺陷的基板检测装置(230)； 所述基板检测装置(230)包括设置在所述待检测基板(100)上方的成像单元(250)、 与 所述成像单元(250)和所述加热板(220)连接的控制单元(240)； 所述成像单元(250)收集所 述待检测基板(100)在加热中的膜面图像并反馈给所述控制单元(240)， 所。

4、述控制单元 (240)控制所述加热板(220)的温度并根据所述膜面图像确定所述待检测基板(100)中缺陷 的位置。 2.如权利要求1所述的一种配向膜涂布检测装置， 其特征在于， 所述控制单元(240)包 括温度控制单元(241)、 存储单元(243)、 分析单元(244)； 所述温度控制单元(241)根据待检测基板(100)的预烘烤温度控制所述加热板(220)的 加热温度； 所述存储单元(243)用于存储所述待检测基板(100)在加热中多个膜面图像信 息； 所述分析单元(244)根据所述膜面图像来确定所述待检测基板(100)中缺陷的位置。 3.如权利要求2所述的一种配向膜涂布检测装置， 其特征。

5、在于， 所述控制单元(240)还 包括与所述温度控制单元(241)相连接的温度传感器(242)， 所述温度传感器(242)检测所 述待检测基板(100)的温度， 所述温度控制单元(241)根据所述温度传感器(242)的反馈调 节所述加热板(220)的加热温度。 4.如权利要求3所述的一种配向膜涂布检测装置， 其特征在于， 所述温度传感器(242) 位于所述待检测基板(100)的外表面。 5.如权利要求3所述的一种配向膜涂布检测装置， 其特征在于， 所述预烘烤机台(20)还 包括位于待检测基板(100)下方的支撑架(210)和位于所述支撑架(210)上的支撑柱(211)， 所述加热板(220)上。

6、设有多个小孔， 所述支撑柱(211)穿过所述加热板(220)的小孔支撑所 述待检测基板(100)。 6.如权利要求5所述的一种配向膜涂布检测装置， 其特征在于， 所述支撑柱(211)为导 热体， 所述温度传感器(242)与所述支撑柱(211)相连接以检测所述待检测基板(100)的温 度。 7.如权利要求1所述的一种配向膜涂布检测装置， 其特征在于， 所述基板检测装置 (230)还包括与所述成像单元(250)连接的显示单元(251)。 8.如权利要求1所述的一种配向膜涂布检测装置， 其特征在于， 所述成像单元(250)为 红外摄像机。 9.如权利要求8所述的一种配向膜涂布检测装置， 其特征在于，。

7、 所述红外摄像机在预定 时间段内连续地获取多个所述膜面图像。 10.如权利要求1所述的一种配向膜涂布检测装置， 其特征在于， 所述基板检测装置 (230)还包括警报单元， 所述警报单元与所述控制单元(240)相连接， 所述警报单元在所述 控制单元(240)检测到所述待检测基板(100)中缺陷的位置后发出警报。 权利要求书 1/1 页 2 CN 209992419 U 2 一种配向膜涂布检测装置 技术领域 0001 本实用新型属于检测装置技术领域， 尤其涉及一种配向膜涂布检测装置。 背景技术 0002 在现有显示面板行业中， 配向膜用于对液晶配向， 使液晶在无电压状态时具备一 定的预倾角。 现有。

8、技术中， 配向膜的涂布主要通过转印或喷墨的方式， 其中转印式由于其准 确性及印刷表面相对均匀性等优点得到广泛的使用。 图1是现有技术中配向膜的涂布检测 机台示意图， 图2 是现有技术中涂布检测机台的涂布示意图； 如图1和图2所示： 首先通过涂 布机台(PI Coater)10 的配向喷嘴11 将配向膜喷涂在刮刀12 上， 再由刮刀12 均匀地将 配向膜转印到A轮(Anilox Roller)13 上， A轮13 的转动把配向膜再转印到挂在P轮(Print Roller)14 上的配向膜印刷版(APR 版)15 上， 配向膜印刷版(APR版)15 上的圆形网孔将 配向膜挤压出来并带走， 最后均匀。

9、地转印到放置于基台17 上的基板16 (TFT基板或CF 基 板)上。 0003 如果基台残留有微小玻璃碎屑等异物， 配向膜转印过程中， 基台上异物会给TFT基 板或CF基板背面一向上的应力， 使得TFT基板或CF 基板背面出现微小裂纹。 如何能有效地 减少微小裂纹的发生， 主要有两方面， 一是 “预” ， 即定期清理卡匣、 传送设备、 转印基台； 第 二个方面是 “防” ， 即通过检查设备， 第一时间发现不良问题， 及时有效地避免异常发生。 0004 现有技术中， 配向膜涂布完后的基板被传送到预烘烤机台(Pre Cure)20 进行预 加热， 使配向膜内的溶剂加速挥发， 形成固状的配向膜， 。

10、然后以一定的频率进入自动光学检 查机(PI Inspection)30 检查TFT或CF 基板表面的缺陷(如mura、 异物等)， 再以一定的频 率进入人工检查机进行人工肉眼检查。 随着高分辨率、 高对比度的高阶机种及越来越薄的 玻璃基板投入生产， 现有的自动光学检查机检查能力已很难适应， 可能存在检测率不佳、 漏 检率高的问题； 而人工肉眼检查又无法发现， 不能及时拦截异常基板， 会造成大量的基板报 废， 降低生产良率， 增加了生产成本。 0005 有鉴于此， 本实用新型申请人针对现有技术中配向膜的涂布机台未臻完善所导致 的诸多缺失及不便， 而深入构思， 且积极研究改良试做而开发设计出本创作。

11、。 实用新型内容 0006 本实用新型的目的在于公开一种配向膜涂布检测装置， 本实用新型旨在提供一种 既能提高检测率， 又能降低漏检率的配向膜涂布检测装置， 以解决现有技术中的不足等问 题。 0007 为了解决上述技术问题， 本实用新型的解决方案是： 公开了一种配向膜涂布检测 装置， 包括涂布机台、 预烘烤机台和光学检查机， 该预烘烤机台包括给已涂布配向膜的待检 测基板加热的加热板， 其特征在于， 该预烘烤机台还包括对待检测基板检测缺陷的基板检 测装置； 该基板检测装置包括设置在该待检测基板上方的成像单元、 与该成像单元和该加 热板连接的控制单元； 该成像单元收集该待检测基板在加热中的膜面图像。

12、并反馈给该控制 说明书 1/5 页 3 CN 209992419 U 3 单元， 该控制单元控制该加热板的温度并根据该膜面图像确定该待检测基板中缺陷的位 置。 0008 优选地， 该控制单元包括温度控制单元、 存储单元、 分析单元； 该温度控制单元根 据待检测基板的预烘烤温度控制该加热板的加热温度； 该存储单元用于存储该待检测基板 在加热中多个膜面图像信息； 该分析单元根据该膜面图像来确定该待检测基板中缺陷的位 置。 0009 优选地， 该控制单元还包括与该温度控制单元相连接的温度传感器， 该温度传感 器检测该待检测基板的温度， 该温度控制单元根据该温度传感器的反馈调节该加热板的加 热温度。 。

13、0010 优选地， 温度传感器位于待检测基板的外表面。 0011 优选地， 预烘烤机台还包括位于待检测基板下方的支撑架和位于支撑架上的支撑 柱， 加热板上设有多个小孔， 支撑柱穿过加热板的小孔支撑待检测基板。 0012 优选地， 支撑柱为导热体， 温度传感器与支撑柱相连接以检测待检测基板的温度。 0013 优选地， 该基板检测装置还包括与该成像单元连接的显示单元。 0014 优选地， 该显示单元为显示器。 0015 优选地， 该成像单元为红外摄像机。 0016 优选地， 该红外摄像机在预定时间段内连续地获取多个该膜面图像。 0017 优选地， 该基板检测装置还包括警报单元， 该警报单元与该控制。

14、单元相连接， 该警 报单元在该控制单元检测到该待检测基板中缺陷的位置后发出警报。 0018 优选地， 该光学检查机包括正面检查区和背面检查区。 0019 本实用新型实施例公开的配向膜涂布检测装置能够对待检测基板在预烘烤的过 程中同时对配向膜进行缺陷检测， 既能提高异常检测率， 又能降低不良漏检率， 大大提升了 产品的生产良率。 附图说明 0020 通过以下参照附图对本实用新型实施例的描述， 本实用新型的上述以及其他目 的、 特征和优点将更为清楚， 在附图中： 0021 图1是现有技术中配向膜的涂布检测机台示意图； 0022 图2是现有技术中配向膜的涂布检测机台的涂布示意图； 0023 图3是本。

15、实用新型实施例公开的配向膜涂布检测装置的示意图； 0024 图4是本实用新型实施例公开的配向膜涂布检测装置中预烘烤机台的结构示意 图； 0025 图中： 涂布机台： 10 、 10； 预烘烤机台： 20 、 20； 光学检查机： 30 、 30； 喷嘴： 11 ； 刮 刀12 ； A轮： 13 ； P轮： 14 ； 配向膜印刷版(APR 版)： 15 ； 基板： 16 、 100； 基台： 17 ； 支撑架： 210； 支撑柱： 211； 加热板： 220； 基板检测装置： 230； 检测单元： 240； 温度控制单元： 241； 温度 传感器： 242； 存储单元： 243； 分析单元： 2。

16、44； 成像单元： 250； 显示单元： 251。 具体实施方式 0026 为了进一步解释本实用新型的技术方案， 下面将结合本实用新型实施例中的附 说明书 2/5 页 4 CN 209992419 U 4 图， 对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、 完整地描述， 显然， 所描述的实施例仅仅 是本实用新型一部分实施例， 而不是全部的实施例。 基于本实用新型中的实施例， 本领域普 通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例， 都属于本实用新型保 护的范围。 0027 实施例： 0028 图3是本实用新型实施例公开的配向膜涂布检测装置的示意图； 图 4是本实用新 型实施例公开的配。

17、向膜涂布检测装置中预烘烤机台的结构示意图。 0029 如图3和图4所示， 本实施例公开了一种配向膜涂布检测装置， 包括涂布机台10、 预 烘烤机台20和光学检查机30。 0030 该涂布机台10的配向喷嘴将配向膜喷涂在刮刀上， 再由刮刀均匀地将配向膜转印 到A轮(Anilox Roller)上， A轮(Anilox Roller)的转动把配向膜再转印到挂在P轮(Print Roller)上的配向膜印刷版(APR版)上， 配向膜印刷版(APR版)上的圆形网孔将配向膜挤压 出来并带走， 最后均匀地转印到放置于基台上的基板(TFT基板或CF基板)上， 形成已涂布配 向膜的待检测基板100， 并通过机。

18、械手将该待检测基板100传送至该预烘烤机台20中。 0031 该预烘烤机台20包括位于待检测基板100下方的支撑架210、 位于该支撑架210上 的支撑柱211以及位于支撑柱211上方的加热板220， 该加热板220上设有多个小孔， 该支撑 柱211穿过该加热板220的小孔支撑该待检测基板100， 该加热板220用于给已涂布配向膜的 待检测基板100进行加热。 0032 该预烘烤机台20还包括对待检测基板100检测缺陷的基板检测装置 230， 该基板 检测装置230包括设置在该待检测基板100上方的成像单元 250、 与该成像单元250和该加 热板220连接的控制单元240； 该成像单元250。

19、收集该待检测基板100在加热中的膜面图像并 反馈给该控制单元240， 该控制单元240控制该加热板220的温度并根据该膜面图像确定该 待检测基板100中缺陷的位置。 0033 在本实施例中， 该基板检测装置230还包括警报单元(图中未示出)， 该警报单元与 该控制单元240相连接， 该警报单元在该控制单元240检测到该待检测基板100中缺陷的位 置后发出警报。 设置警报单元可以让作业人员作业方式更简单， 更有效地提高工作效率。 0034 在该预烘烤机台20根据预设的烘烤时间、 烘烤温度完成预烘烤作业过程中， 若该 基板检测装置230检测到待检测基板100存在缺陷时， 通过该警报单元发生警报， 。

20、作业人员 可以根据警报提示查看该预烘烤机台 20中待检测基板100的膜面图像， 避免异常基板后 流， 减少无效工时， 有效提高工作效率。 0035 若该基板检测装置230未检测到待检测基板100存在缺陷， 则在该预烘烤机台20完 成预烘烤作业后， 通过机械手将该待检测基板100传送至该光学检查机30中。 0036 该光学检查机30包括正面检查区(图中未示出)和背面检查区(图中未示出)， 让光 源照射到完成预烘烤作业的待检测基板100上， 通过光学摄像头检查通过待检测基板100透 射或反射的光线， 检查其中的明暗变化来反馈异常的发生， 进一步提高对异常基板的检出 率。 0037 在本实施例中， 。

21、该基板检测装置230的控制单元240包括温度控制单元241、 存储单 元243、 分析单元244。 0038 该温度控制单元241根据待检测基板100对应的预设烘烤时间、 烘烤温度控制该加 说明书 3/5 页 5 CN 209992419 U 5 热板220的加热时间、 加热温度； 该存储单元243用于存储该待检测基板100在加热中多个膜 面图像信息； 该分析单元244根据多个该膜面图像来确定该待检测基板100中缺陷的位置。 0039 在本实施例中， 该分析单元244与该警报单元相连接， 当该分析单元244检测到该 待检测基板100存在缺陷时， 将该异常信息反馈给该警报单元， 由该警报单元发出。

22、警报。 0040 另外， 由于配向膜在配向过程中由于温度过高或过低可能导致配向不良， 该控制 单元240还包括与该温度控制单元241相连接的温度传感器242。 在本实施中， 该支撑柱211 为导热体， 温度传感器242与支撑柱211相连接用以检测待检测基板100的温度， 共设置了两 个温度传感器242， 并分别与支撑柱211相连接且位于该加热板200下方的支撑架 210上。 该 温度传感器242检测到该待检测基板100的温度并反馈给该温度控制单元241， 该温度控制 单元241根据该温度传感器242的反馈并调节该加热板220的加热温度。 可以进一步保证了 配向膜的配向质量， 同时使配向膜的配向。

23、更加均匀。 0041 在其它实施例中， 为了进一步提高监测待检测基板温度的准确性， 温度传感器242 也可以设置为一个或者多个， 并将多个温度传感器为设置在该待检测基板外表面的多个区 域。 在此并不作限制。 0042 在本实施例中， 该成像单元250具体为红外摄像机。 由现有技术可知， 红外摄像机 可用于捕获热图像， 即在外表面上的膜面图像。 通过本实施例中的分析单元240来分析外表 面上的膜面图像， 可以确定待检测基板上缺陷的位置。 0043 在本实施例中， 该红外摄像机在预定时间段内连续地获取多个该膜面图像， 该红 外摄像机通过获取待检测基板在加热过程中外表面的膜面图像， 能够记录待检测基。

24、板在加 热过程中外表面的温度变化。 0044 在预烘烤机台对待检测基板加热的过程中， 若待检测基板为正常情况下， 其配向 膜的外表面在加热过程中缩膜是均匀有序的， 如膜面出现 Mura或基板发生梅花状裂痕， 就 会在有序的缩膜过程中造成干扰， 异常的位置缩膜会出现与周边不一致的现象， 就像在微 风吹抚下稳定的水面投下一个石子， 异常位置的升温速度会与正常位置不一致， 从而突显 异常位置。 0045 也就是通过对待检测基板在加热过程中外表面温度的变化来监控其缩膜的变化 过程， 就可检测出待检测基板的配向膜膜面是否有异常或基板有异常。 由红外摄像机获取 的膜图图像被发送至分析单元， 以分析膜图图像。

25、， 计算表面温度， 以及确定缺陷的位置。 0046 在本实施例中， 该基板检测装置230还包括与该成像单元250连接的显示单元251， 该显示单元251可以为LCD显示器、 OLED显示器等。 设置该显示单元可以让作业人员在作业 中更直观可见。 0047 本实用新型实施例提供的一种配向膜涂布检测装置。 包括涂布机台、 预烘烤机台 和光学检查机， 该预烘烤机台包括给已涂布配向膜的待检测基板加热的加热板， 其中， 该预 烘烤机台还包括对待检测基板检测缺陷的基板检测装置； 该基板检测装置包括设置在该待 检测基板上方的成像单元、 与该成像单元和该加热板连接的控制单元； 该成像单元收集该 待检测基板在加。

26、热中的膜面图像并反馈给该控制单元， 该控制单元控制该加热板的温度并 根据该膜面图像确定该待检测基板中缺陷的位置。 0048 该配向膜涂布检测装置能够对待检测基板的配向膜层在预热固化的过程中的膜 面图像， 从而实现在预烘烤的过程中对配向膜进行缺陷检测， 避免了待检测基板的异常后 说明书 4/5 页 6 CN 209992419 U 6 流， 既能提高异常检测率， 又能降低不良漏检率， 大大提升了产品的生产良率。 另外， 该配向 膜涂布检测装置对预烘烤机台的加热时间以及加热温度同时进行实时监测和调节， 可以避 免了温度过高或过低而导致的配向不良， 进而保证了配向膜的配向质量。 0049 以上是本实。

27、用新型的全部内容， 在本说明书中， 术语 “包括” 、“包含” 或者其任何其 他变体意在涵盖非排他性的包含， 除了包含所列的那些要素， 而且还可包含没有明确列出 的其他要素。 0050 在本说明书中， 所涉及的前、 后、 上、 下等方位词是以附图中零部件位于图中以及 零部件相互之间的位置来定义的， 只是为了表达技术方案的清楚及方便。 应当理解， 所述方 位词的使用不应限制本申请请求保护的范围。 0051 以上所述仅为本实用新型的较佳实施例， 并不用以限制本实用新型， 凡在本实用 新型的原则之内， 所作的任何修改、 等同替换、 改进等， 均应包含在本实用新型的保护范围 之内。 说明书 5/5 页 7 CN 209992419 U 7 图1 图2 说明书附图 1/2 页 8 CN 209992419 U 8 图3 图4 说明书附图 2/2 页 9 CN 209992419 U 9 。